第486章 温柔乡！

“第一座十二寸晶圆厂落户在中原省，这么大的事情省里当然是非常重视的，不过我看你小子好像也没有特别高兴呀？”李开元笑着说道。

“其实我倒更想自己建设一座十二寸晶圆厂的。”杨杰说道。

“这么说的话，瑞星科技公司在十二寸晶圆厂使用的光刻机跟刻蚀机上面已经取得了非常大的突破？”马秋林惊喜地问道。

“嗯，我们采用的第三代光源的双工件台光刻机已经试制出来了，现在正在一条实验生产线上测试使用了一年了，目前来说设备运转不错。”

去年年初的时候，瑞星科技公司试制出了八英寸和十二英寸的两款光刻机，同时也采用了沉浸式光刻技术，测试过程中也是不停地进行了改善，现在性能也是稳定下来。

不过之前瑞星科技公司从G国蔡司得到的镜组数量非常少，不到十套而已，这也是因为瑞星科技公司设计的曝光头要注入注入高纯度水，镜组必须重新设计。

G国蔡司方面看在中晶微每套报价差不多两千万的重金下才帮助生产了十套，不得不说，G国人在高精密机械制造技术上还是极为厉害的，最后还是生产出了这么十套镜组。

另外瑞星科技公司跟帝都市的物化所在氟化氪准分子激光光源上合作研发上已经成熟了，这才有了量产第三代光源光刻机的技术基础。

现在瑞星科技公司试制的光刻机因为采用了沉浸式光刻技术，大大地缩短了光源的波长，光刻机支持的极限制程工艺可以达到65纳米。

也就是如果瑞星科技公司在掌握氟化氩光源后，极限制程工艺可以达到22纳米！