第275章 双工件台！

朱轶感慨地说道：“再难的技术我们都可以把这些硬骨头给啃下来，可是没有产业的支撑，研发出来的只是些摆在实验室的漂亮展品，瑞星科技公司现在不一样，已经打通了产业链，这些技术产品马上就可以使用上了。”

“杨少，现在艾斯摩尔公司也是推出了双工作平台，不过外界对双工作平台都不是很看好，认为这个工作平台又大又笨重，复杂又昂贵，我们真的要推出这样的工作平台？”何玉光有些犹豫地说道。

“双工作平台至少能提高光刻机百分之三十的工作效率，这样的技术我们必须掌握。”杨杰一脸坚定地说道。

“对了，现在这个双工作平台的运动精度可以达到多少纳米？”

“我们刚刚测试过，工作平台的定位精度是十纳米，运动精度达到了五纳米。”何玉光高兴地说道。

“这个精度暂时只能满足一百纳米分辨率、套刻精度三十三纳米、线宽十纳米的光刻机，如果氟化氪准分子激光光源出来后，我们公司生产的光刻机暂时只能做到一百纳米的制程工艺……”杨杰沉吟道。